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半導體全自動超聲波清洗機對單、多晶硅片進行去磷硅表面清潔處理；適用于25MW太陽能電池生產線對單、多晶硅片擴散后的處理工序
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产品说明
1.成熟的單晶或多晶硅片的制絨工藝，來自德國先進技術 2.彩色大屏幕人機界面操作，參數設置及多任務工藝方式轉換方便 3.全程自動控制、自動補液、工藝槽自動循環；充分保持液體均勻 4.電腦機械手自動高效工作，伺服驅動控制方式和圓弧插補驅動方式 5.選用國際品牌的零部件，如SMC、三菱、OMRON、勞士領、易威奇、IGUS、西門子、松下、SEW、GF等 6.采用PID控溫方式，可精確控制液體溫度±0.5℃ 7.全面完善的防酸防腐措施，避免機內系統被腐蝕，提高設備使用壽命 8.采用德國進口PVC塑包最新技術，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落 9.超大產能：1800片/小時【硅片尺寸4”、5”、6”】 |
